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第354章 群策群力提升半导体产业规划的可行性（第1页）

与会的半导体技术专家吕智明语气笃定地附和道：“没错。

这些年，我始终关注着国内光刻机领域的研究动态，对相关研究团队也有深入了解。”

“水木大学我建议可以联系下精密仪器系的金国凡教授团队，金国凡教授作为华国光学工程学科的奠基人之一，自1980年起，便凭借卓越的领导才能与敏锐的行业洞察力，迅速组建起一支精锐的科研团队，一头扎进光刻机光学系统的研发工作中。”

“他在?光栅与光学系统设计领域的研究就为之前的分步投影光刻机光学设计项目提供了不少助力，这些年，他发表的多篇光刻光学领域论文，在行业内也引起了广泛关注，同时，他悉心指导研究生，在光栅与精密测量技术方面的人才培养上也取得了不小的成果。”

“另外水木大学电子工程系的周炳坤教授，身为国内顶尖的激光技术专家，从1980年开始，就一心扑在高稳定激光光源的研究上。”

“他研制出来的激光光源，输出功率稳定，光束质量高，对光刻机而言，是极具潜力的优质选择，我觉得有他们参与进来的话，光刻机项目有望大幅提升精度和稳定性，突破国产光刻机在光源技术上的瓶颈。”

“而且周教授如今担任着水木激光研究室主任，凭借丰富的实践经验和深厚的理论知识，主持多项与激光光源相关的科研项目。”

“在长期的研究过程中，他不仅积累了丰富的技术经验，还培养了一批优秀的科研人才，这些人才活跃在国内激光技术和光刻机研发领域，为推动行业的发展贡献着重要力量，我们应该能通过他接触到更多相关的激光技术人才。”

吕智明稍作停顿，端起面前的搪瓷杯，喝了口水润润嗓子，接着说道：“浙省大学那边同样人才济济。”

“光学仪器系的唐晋法教授，是我国光学薄膜领域的权威，前几年，他成功研发出光刻机用抗反射镀膜技术，大幅提升了光学系统的透射率，目前，他还主持着国家自然科学基金项目‘光学薄膜在微电子技术中的应用’，引领着行业的发展方向。”

“王子瑜教授也深度参与了光刻机光学系统的设计工作，在投影物镜的像差校正技术方面深入钻研，为国产光刻机光学模块的搭建，提供了重要的理论支持。

若能将这些专家和团队纳入我们的研发体系，攻克光刻机核心技术难题指日可待。”

吴敬廉听完吕智明的发言，轻轻点了点头，缓缓说道：“北国春城光机所，我本来就计划和他们联系讨论研发汞灯光源的相关事宜，目前汞灯光源寿命只有200小时，我们需要争取将其提升到500小时。

至于你们说的其他几个科研机构和高校团队，我也会尽快去联系。”

在后续的会议时间里，与会人员纷纷结合自身的工作经验与人脉，针对吴敬廉列出的名单各抒己见，查漏补缺。

经过一番热烈的讨论，最终形成了一个初步的半导体产业生态名单。

薄膜沉积设备领域，沈阳科学仪器厂，作为拓荆科技的前身，被规划负责研发首台国产LpcVd炉SY-1，该厂技术团队技术储备丰富，对设备研发有成熟的思路，规划中的SY-1炉温控精度预计能达到正负3°c，而且还能适配南京特种气体厂所产国产硅烷。

同时，会议提出推动沈阳科学仪器厂与苏维埃联盟库尔恰托夫研究所开展合作，引入pEcVd等离子体技术，进一步优化设备性能。

京城仪器厂则计划承接莱宝磁控溅射台的仿制工作，产品命名为bJp-1，bJp-1将支持铝金属化层沉积，团队拟定目标，让靶材纯度达到99.9%。

蚀刻设备方面，苏州净化设备厂凭借现有技术，计划自主设计石英蚀刻槽。

这一蚀刻槽将与南通化工厂经提纯工艺产出的国产氢氟酸配套使用，目标实现4英寸晶圆的批量蚀刻。